導電率測定用電極
▼ 電極の拡大図 |
通電用及び電位差測定用電極として、白金を石英ガラス上に蒸着しました。電圧端子間距離は接続ピンを変更することで変えることができます。ドーピングによって導電性高分子が絶縁体-金属転移を生ずる場合のin-situ測定では電極構成は4端子とし、低ドーピング域での絶縁相では2端子法、高ドーピング域の金属相では4端子法で測定を行います。この電極は、端子の組み合わせで15種類の距離で測定が可能になっています。
- 4端子法による高精度な膜厚測定、固有抵抗の測定
- 新素材、化学合成品の評価
- 導電性ポリマーの評価
- 仕様
- ラインナップ
- オプション
導電率測定用電極は、接着層としてチタン(Ti)100 Å、その上に白金(Pt)が900 Å、合計の膜厚が1000 Åとなるように蒸着されております。電位差測定用電極の線幅はそれぞれ10 µmで、10、20、30、50、100 µm間隔に配置しました。 また、通電用電極の線幅は1 mm、間隔は470 µmです。
概略図中のAおよびHを通電用電極として、B〜Gを電位差測定用電極として使用します。B〜G間の端子を変えることにより、電極距離10 µmから最大250 µmまでを測定することができます。
電極間の距離(µm)
A | B | C | D | E | F | G | H | |
A | - | - | - | - | - | - | - | 470 |
B | - | - | 40 | 140 | 10 | 80 | 250 | - |
C | - | 40 | - | 90 | 20 | 30 | 200 | - |
D | - | 140 | 90 | - | 120 | 50 | 100 | - |
E | - | 10 | 20 | 120 | - | 60 | 230 | - |
F | - | 80 | 30 | 50 | 60 | - | 160 | - |
G | - | 250 | 200 | 100 | 230 | 160 | - | - |
H | 470 | - | - | - | - | - | - | - |